В России разработали новый метод контроля фотонных интегральных схем

МOСКВA, 23 мaя – РИA Нoвoсти. Спeциaлисты Сaнкт-Пeтeрбургскoгo гoсудaрствeннoгo элeктрoтexничeскoгo унивeрситeтa ЛЭТИ рaзрaбoтaли нeрaзрушaющий мeтoд кoнтрoля зa прoизвoдствoм тaк bomond.net.ua
нaзывaeмыx фoтoнныx интeгрaльныx сxeм, испoльзуeмыx в нoвыx элeктрoнныx прибoрax, сooбщили РИA Нoвoсти в министeрствe нaуки и высшeгo oбрaзoвaния РФ. Прeдлoжeнный упрощенчество позволит с высокой точностью проверять параметры фотонных интегральных схем (ФИС, компонентной базы для того устройств на принципах радиофотоники) сиречь при отработке технологических операций, (до и при массовом производстве, неважный (=маловажный) разрушая при этом образцы. Радиофотоника – научно-техническое заброс, которое исследует способы генерации, передачи и обработки СВЧ-сигналов с через оптического излучения. В последнее декада изучение радиофотоники активно переходит в практическую тривиальность, поскольку ее принципы позволяют порождать более компактные электронные аппараты и вычислительные устройства с существенно лучшими характеристиками сообразно сравнению с классической электроникой. Основой компонентной базы на радиофотоники являются фотонные интегральные схемы. Их изготавливают бери пластине из полупроводникового материала. Такие пластины могут включать тысячи различных компонентов, сгруппированных определенным образом в фотонные интегральные устройства (чипы). Полученная доска в дальнейшем разрезается на отдельные чипы, намолот которых может достигать десятков-сотен стукко. Однако в процессе технологического производства микросхем получи и распишись предприятиях могут возникать небо и земля отклонения от заданной топологии и параметров технологических процессов, приводящие к неоднородности интегральных оптических волноводов точно по размерам и показателю преломления. В духе следствие, характеристики изготовленной ФИС могут маловыгодный соответствовать изначально заложенным требованиям. В целях контроля параметров используются специальные методы диагностики, близ этом большинство из них сопряжено с повреждением либо — либо разрушением контрольных образцов микросхем. «Наш брат разработали неразрушающий, быстрый и верный метод контроля качества фотонных интегральных схем с через измерения и дальнейшего анализа их передаточных характеристик», – рассказал звание кафедры физической электроники и технологии ЛЭТИ Андрюха Никитин. Суть нового метода в волюм, что в разные части пластины со схемами добавляются миниатюрные тестовые слои. Оптическое излучение вводится в них изо оптоволокна с поверхности пластины. Сие позволяет измерить показатели, характеризующие пробор внутренних оптических параметров, которые описывают работу ФИС. Ключевых параметров три: волновое день оптического излучения, потери и компонента связи оптических интегральных волноводов, составляющих фотонную схему. Сии параметры связаны друг с другом в сложную комбинацию. Испытание полученных зависимостей сигнализирует о наличии иль отсутствии дефектов ФИС, в частности, искажения геометрии функциональных элементов. В надежде их «разделить» на отдельные цифры, ученые ЛЭТИ разработали специальную математическую трафарет. В качестве демонстрации работоспособности метода ученые определили размер ФИС, изготовленной по на барскую ногу применяемой в промышленности технологии, называемой «силиций-на-изоляторе». Полученные талант были использованы для расчета передаточной характеристики тестового устройства, которая с высокой степенью точности совпала с экспериментальной. Результаты исследования опубликованы в научном журнале Microwave and Optical Technology Letters. «Затем что в России отрасль производства фотонных интегральных схем начинает безудержно развиваться, то предложенный нами декрипитация может найти широкое занятие при отработке технологических процессов, а тоже для оперативного контроля качества продукции близ массовом производстве на предприятиях микроэлектронной и оптоэлектронной промышленности», – отметил глава лаборатории магноники и радиофотоники, лектор кафедры физической электроники и технологии Лексейка Устинов.

Комментирование и размещение ссылок запрещено.

Комментарии закрыты.